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低漏率电控针阀和手动可变泄漏阀在超高真空度自动控制中的应用

作者: 2023年04月28日 来源: 浏览量:
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超高真空度的控制普遍采用具有极小开度的可变泄漏阀对进气流量进行微小调节。目前常用的手动可变泄漏阀无法进行超高真空度的自动控制且不准确,电控可变泄漏阀尽管可以实现自动控制但价格昂贵。为了实现自动控制且降

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